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書名

ドライプロセス表面処理大全 技術大全シリーズ

著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3

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書誌詳細

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タイトルコード 1000050211856
書誌種別 図書
書名 ドライプロセス表面処理大全 技術大全シリーズ
書名ヨミ ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン ギジュツ タイゼン シリーズ
著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所／編
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3
ページ数・枚数 285p
大きさ・形態 21cm
ISBN 978-4-526-07968-9
分類記号 566.7
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
件名1 金属表面処理



目次


内容細目

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No. 所蔵館資料番号請求記号資料種別配架場所帯出区分状態 貸出
1 蓮根　0412151514566//H図書一般閉架貸出可在庫　  ○

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