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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000050353895 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
はじめての半導体ドライエッチング技術 現場の即戦力 改訂版 |
書名ヨミ |
ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ ゲンバ ノ ソクセンリョク 改訂版 |
著者名 |
野尻 一男/著
|
著者名ヨミ |
ノジリ カズオ |
出版者 |
技術評論社
|
出版年月 |
2020.11 |
ページ数・枚数 |
10,188p |
大きさ・形態 |
21cm |
ISBN |
978-4-297-11599-9 |
分類記号 |
549.8
|
内容紹介 |
ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。基礎から装置、最先端の応用技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。 |
著者紹介 |
群馬大学大学院工学研究科修士課程修了。(株)日立製作所、ラムリサーチ(株)を経て独立。ナノテクリサーチ代表。共著に「先端電気化学」など。 |
件名1 |
半導体
|
目次
内容細目
資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
資料種別 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
|
1 |
中央 | 0114358662 | 281.0// | 図書一般 | 開架 | 貸出可 | 在庫 |
○ |
2 |
高島平 | 0613132353 | W281.0// | 図書一般 | 開架 | 貸出可 | 在庫 |
○ |
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