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内容紹介

薄膜技術の注目ポイントをやさししく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して、新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界がみえてくるのかを紹介する。

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タイトルコード

1001010586355

書誌種別

図書

著者名

麻蒔 立男／著

著者名ヨミ

アサマキ タツオ

出版者

ソフトバンククリエイティブ

出版年月

2010.9

ページ数・枚数

190p

大きさ・形態

21cm

ISBN

4-7973-5713-4

分類記号

549.8

書名

「薄膜」のキホン 原子に迫る超微細・超高密度の世界 イチバンやさしい理工系 SBE-006

書名ヨミ

ハクマク ノ キホン ゲンシ ニ セマル チョウビサイ チョウコウミツド ノ セカイ イチバン ヤサシイ リコウケイ 6

副書名

原子に迫る超微細・超高密度の世界

副書名ヨミ

ゲンシ ニ セマル チョウビサイ チョウコウミツド ノ セカイ

著者紹介

1934年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。90〜2010年まで東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。工学博士。著書に「真空のはなし」など。

件名1

薄膜

叢書名

イチバンやさしい理工系