検索結果書誌詳細

内容紹介

洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。

＋ 追加情報を見る

タイトルコード

1000050275279

書誌種別

図書

著者名

佐藤 淳一／著

著者名ヨミ

サトウ ジュンイチ

出版者

秀和システム

出版年月

2019.12

ページ数・枚数

261p

大きさ・形態

21cm

ISBN

4-7980-6037-8

分類記号

549.8

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 図解入門 Visual Guide Book 第3版

書名ヨミ

ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル ズカイ ニュウモン ヴィジュアル ガイドブック 第3版

副書名

ファブから検査まで製造装置を俯瞰する

副書名ヨミ

ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル

著者紹介

京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。

件名1

半導体

叢書名

図解入門

叢書名

Visual Guide Book