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内容紹介

真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。

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タイトルコード

1000050211856

書誌種別

図書

著者名

関東学院大学材料・表面工学研究所／編

著者名ヨミ

カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ

出版者

日刊工業新聞社

出版年月

2019.3

ページ数・枚数

285p

大きさ・形態

21cm

ISBN

4-526-07968-9

分類記号

566.7

書名

ドライプロセス表面処理大全 技術大全シリーズ

書名ヨミ

ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン ギジュツ タイゼン シリーズ

件名1

金属表面処理

件名2

薄膜

叢書名

技術大全シリーズ