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書誌情報サマリ

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 図解入門 Visual Guide Book 第3版

著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12

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タイトルコード 1000050275279
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 図解入門 Visual Guide Book 第3版
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル ズカイ ニュウモン ヴィジュアル ガイドブック 第3版
著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数・枚数 261p
大きさ・形態 21cm
ISBN 978-4-7980-6037-8
分類記号 549.8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
件名1 半導体



目次


内容細目

資料情報

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No. 所蔵館資料番号請求記号資料種別配架場所帯出区分状態 貸出
1 中央　0114344079549.8//図書一般自動化書庫貸出可在庫　  ○
2 西台　0915415702549.8//図書一般開架貸出可在庫　  ○
3 成増　1212007709549.8//図書一般開架貸出可在庫　  ○

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